CIF紫外臭氧清洗機

紫外臭氧清洗機（UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗機系列產品采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調，可選加熱控溫，以便達到最佳清洗效果。
產品特點
u?UVO基礎型系列采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，設置顯示計時時間及加熱溫度。
u?自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
u?數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
u?任何時間可以手動中斷處理過程。
u?自動記錄之前清洗參數設置。
u?樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-200℃，控溫精度0.1℃。
u?頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
u?上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
u?樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
u?UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。
u?高強度UV燈源，波長185nm和254nm。
u?可累計計時UV格柵燈使用時長，更換提示。
u?UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大25mm。
u?雙重安全保護，帶有安全鎖，當清洗腔打開時，系統自動關掉UV燈，并有燈光通斷提示。
u?帶進&出氣口雙氣路設計。
u?可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。
u?UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO13系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。
u?可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。
技術參數
產品型號
UVO5/UVO5P/UVO5T
UVO9/UVO9P/UVO9T
UVO13/UVO13P/UVO13T
UV燈尺寸
130x130mm
230x230mm
330x330mm
樣品臺高度
0-50mm可調
0-50mm可調
0-50mm可調
電 ??源
AC220V 50/60Hz 140/190/690W
AC220V 50/60Hz 140/190/690W
AC220V 50/60Hz ?140/190/1160W
外型尺寸
L260xW320xH200mm
L370xW470xH200mm
L465xW575xH200mm
包裝尺寸
L375xW470xH390mm
L490xW600xH320mm
L575xW680xH320mm
整機重量
8kg
15kg
18kg